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第322章 难度巨大

批又一批,很多人因为看不到希望选择了离开,但陈平安一直没有放弃。他亲自参与光刻机的研发工作,甚至在关键时刻,亲自钻进实验室,亲手调整每一个零件。今天,他终于迎来了技术积累的第一波爆发。

光刻机的核心部件:步进扫描台

陈平安站在实验室,双手扶着步进扫描台上的调试工具,眉头紧锁。步进扫描台是光刻机的核心部件之一,它的任务是将硅片精准地移动到光刻机的曝光区域,每次移动的误差不能超过1微米。

然而,即便是漂亮国,也没有做到微米级的机械加工精度。团队的数控机床技术只能勉强达到几十微米,根本不够用。

“陈主任,这样下去不行,误差太大了!”一位机械工程师擦着额头的汗水,满脸焦急。

陈平安却冷静地说道:“如果现有的机床不行,那就调整方案,用多次校准叠加精度的方法解决。”

他亲自设计了一套“机械校准+人工微调”的方案,将光刻机的扫描台误差逐步降低到10微米以内。虽然这个方案比现代技术笨拙得多,但在当时的条件下,已经是巨大的突破。

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